مطياف الانبعاث البصري الأعطال الشائعة في نظام التفريغ وحلولها - مضخة التفريغ لا تستطيع الضخ للأسفل

لا يمكن ضخ مضخة التفريغ إلا إلى 20-30 تور، وعند التوقف عن الضخ، سيؤثر عطل نظام التفريغ على منطقة الطيف فوق البنفسجية القصيرة للكربون والفوسفور والكبريت والبورون وعناصر أخرى في نتائج التحليل. لذلك، يجب الاهتمام بصيانة وإصلاح نظام التفريغ.

الحلول

الخطوة الأولى، سيتم إغلاق صمام الفراغ، ويتم الحفاظ على درجة الفراغ بشكل جيد. الكربون والفوسفور والكبريت والعناصر الأخرى لبيانات التحليل طبيعية، مما يشير إلى أن درجة الفراغ قد وصلت إلى المتطلبات. سبب الفشل هو فشل الثرمستور مسبار الفراغ، تحتاج إلى استبدال مسبار فراغ جديد. أو ضبط دقيق لمقياس الفراغ في الزاوية اليسرى السفلية من المقاوم الدقيق (كشف الغطاء الصغير، مع مفك البراغي لضبط دقيق)، هذا العلاج مناسب فقط لمسبار الفراغ من مطياف نوع DV-4 ومقياس الفراغ. يتم ضبط مؤشر الفراغ إلى 1Torr أو نحو ذلك، ويمكن جعله يجعل مسبار المقاومة الحرارية المكونة من الجسر لاستعادة توازن التعديل، يمكنك تحقيق التشغيل العادي لنظام الفراغ.

الخطوة الثانية، الفراغ في درجة الفراغ حوالي 20 إلى 30 تور، أغلق صمام مضخة الفراغ، تنخفض درجة الفراغ بسرعة، وهذا يعني أن ختم غرفة الفراغ ليس جيدًا، تحتاج إلى فتح الغرفة لإعادة إغلاق الختم، خطوات التشغيل هي كما يلي:

(1) قم بإيقاف تشغيل مفتاح الضغط العالي، وأغلق صمام مضخة التفريغ، ويمكن لمضخة التفريغ الاستمرار في الضخ. إذا لم يكن المستخدم متأكدًا، فيمكنه فصل مضخة التفريغ 220 فولت تيار متردد.

(2) افتح صمام مدخل الهواء الموجود بجوار مسبار غرفة التفريغ ببطء، وليس بسرعة كبيرة، وذلك لتجنب امتصاص عدد كبير من جزيئات الرماد في الهواء إلى الغرفة البصرية.

(3) قم أولاً بإغلاق غطاء الشبكة، ويجب عدم تغطية الحلقة على شكل "0" بكمية أكبر من شحم الفراغ.

(4) عند إغلاق حلقة "0" من نافذة الحادث، انتبه لاتجاه زجاج الكوارتز. نظرًا لأن جانب زجاج الكوارتز مائل، فإن القطر الخارجي للجانب الصغير يدخل في الختم، وليس القطر الخارجي للجانب الكبير، مما يؤدي إلى فقدان تأثير الختم.

(5) أغلق الجزء اللولبي المتصل بالشق الساقط. انزع الزنبرك المتصل بالشق الساقط أولًا. احرص على عدم إتلاف منظم الشق. بعد ذلك، انزع الجزء اللولبي وضع شحمًا مفرغًا على حلقة الختم.

(6) إغلاق حامل المقبس لكابل توصيل إشارة إمداد الجهد العالي (J50 إلى J59، J40 إلى J49) لأنبوب مضاعف الضوء. يمكن للمستخدم إزالة المقبس باستخدام مفتاح ربط 22 مقبسًا، وإحكام إغلاقه، والضغط عليه بقوة.

(7) بعد كل الختم، أغلق حجرة التفريغ، واضغط على جميع البراغي بإحكام، وأغلق صمام الأمان، ويمكنك فتح صمام التفريغ لسحب الفراغ.

(8) عندما تضخ مضخة التفريغ لمدة 30 ~ 40 دقيقة، عادة ما يكون مؤشر التفريغ قريبًا من 100 تور أو نحو ذلك. إذا لم يصل إلى 100 تور بعد ساعة واحدة، فهذا يعني أن غرفة التفريغ ليست مغلقة جيدًا ويجب إعادة إغلاقها.

(9) عندما يكون الفراغ ضمن 100 تور، قم بفك جميع مسامير إغلاق غرفة التفريغ. لا تنس فك المسامير، وإلا فسوف يؤثر ذلك على إزاحة الشبكة، ويؤثر بشكل خطير على تأثير التحليل.

(10) اضبط إعداد بدء/إيقاف الفراغ SET POINT2 على أدنى موضع، واترك مضخة الفراغ تعمل لعدة ساعات، ثم يتم استعادة التحكم في بدء/إيقاف الفراغ إلى 10Torr، ويتم إكمال جميع العمليات.

الخطوة الثالثة، الضخ المستمر لأكثر من عشر ساعات، لا يتم ضخ الفراغ إلى أسفل، انظر سطح زيت مضخة الفراغ لديه الكثير من بخار الماء، مما يدل على أن المنخل الجزيئي للمجمع ليس جافًا، ويحتوي على بخار الماء، يجب تسخين المنخل الجزيئي للتعامل معه.